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半导体芯片掩模版制作设备

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光刻设备、辅助设备

产品概述：
　　光刻机（Laser Writer）是制作高精度掩模版的关键设备。使用极细的激光光束，在极其精密自动控制系统控制下于掩模版基材上绘制出高精密线路图形的专业制作光刻设备