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掩模版:产业链合作图共赢 打破垄断盼扶持

2021-05-10   信息来源:http://www.eepw.com.cn/article/95868.htm

 


作为转移微细图形的工具,(薄膜晶体管液晶显示器)制造过程中必不可少的材料,对TFT产业至关重要。由于当前市场主要被国外企业所垄断,我国要发展TFT产业,的国产化显得尤为重要。

  掩模版是产业链重要环节

  和集成电路的生产一样,在制造过程中也需要利用光刻工艺把沉积在基板上的薄膜(金属、介质或透明导电玻璃等)制作成一定的图形,这种图形转移的母版就是掩模版。对于一种产品而言,其生产过程中有多少次光刻就需要多少张不同图形的掩模版。

  与集成电路的区别在于,除了在阵列基板上制作晶体管时需要利用光刻工艺之外,彩色滤光片的制作同样会用到掩模版。湖南普照信息材料有限公司总经理王佳悦在接受《中国电子报》记者采访时表示,在TFT-LCD制造过程中,光刻掩模版的作用相当于照相的“底片”,面板厂商通过曝光的方式把掩模版上的图形批量复制到最终的产品上,实现微细图形的转移。因此,作为母版的掩模版的质量,在很大程度上决定了TFT-LCD最终产品的质量,任何一个不起眼的瑕疵都有可能给面板厂商带来巨大的损失。正因为如此,掩模版在TFT-LCD生产中具有承上启下的关键作用,是产业链中不可或缺的重要环节。“作为掩模版的基材,掩模基版(匀胶铬版)的作用则相当于照相的空白‘胶卷’,经过光刻工艺将微细电子图形刻蚀于其上,制作成‘底片’———掩模版。”王佳悦以形象的比喻对记者介绍了掩模基版的作用。他表示,作为光掩模加工过程中不可替代的关键基础材料,匀胶铬版的质量又成为能够左右掩模版质量的关键因素,换言之,匀胶铬版虽只是一种上游配套材料,但其质量对于终端应用产品而言也是至关重要的。

  国产化是必然选择

  尽管掩模版及其基材在产业链中的重要性早已得到业界的公认,但对于有志于打造完整的平板显示产业链的中国大陆而言,掩模版及其基材还是一个薄弱环节。公司大中华区及美国区经理戴晓兵告诉《中国电子报》记者,目前,全球每年近6亿美元的显示器(包括电视、电脑显示屏、手机等)掩模版市场为日韩厂商所掌控,其中日本厂商占绝对多数,达到68%,其次为韩国厂商,在30%以上,我国台湾地区厂商只占0.5%的份额,而中国大陆的份额只有0.1%。日本和韩国公司对中国市场极为关注,有两家公司已在中国大陆购置土地,只待时机成熟,即可在中国大陆建厂,抢占商机。


  在掩模版基材方面,中国同样缺乏竞争力。由于匀胶铬版的生产工艺流程涉及精细抛光、清洗、镀膜、匀胶等多个不同高技术领域,且对净化要求极为苛刻(比如生产大尺寸石英掩模基版对镀膜装片室的净化要求高达0.1μm1级),因此长期以来其生产技术一直被掌控在美国、日本及韩国等少数几个厂家手中,加之随着下游应用产品不断升级换代,对掩模版在尺寸、精度等方面也提出了更高要求,一直以来国内厂家很难打破这一技术壁垒。从我国TFT-LCD产业的发展趋势和当前掩模版环节的国际竞争态势来看,掩模版及其基材的国产化已是迫在眉睫。 的国产化可以增强TFT产业的国内自主配套能力,完善产业链结构。“从日本、韩国和我国台湾地区的经验看,TFT产业的竞争实质上已发展成为产业链层面的竞争。如果没有完整的产业链作支撑,在上游关键配套材料方面将不得不受制于人,这对于产品开发和整个产业的长远发展都很不利。”王佳悦表示,“事实上,前不久国内有面板厂商‘被投资的第5代液晶生产线拖垮’,生产面板所需关键材料完全依赖进口或外企、整个产业链明显失衡,便是业界公认的重要原因。

  进一步讲,的国产化可以降低产品的行业成本,增强产品和企业的国际竞争力。若不实现国产化,在外国厂家的市场垄断面前,国内用户缺乏采购议价能力,行业成本不可避免地被抬高,而液晶面板产业竞争的激烈程度是众所周知的,1%-2%的成本差异对企业的赢利都会产生很大影响。

  政府扶持企业协作同等重要


  作为中国大陆唯一一家有能力生产大尺寸的公司,深圳清溢光电股份有限公司对平板显示产业链各环节的合作以及国家政策的支持表达了企盼之情。清溢光电常务副总经理张沛在接受《中国电子报》记者采访时表示,中国大陆的平版显示产业发展落后于日本、韩国和我国台湾地区,针对这种状况,中国大陆平版显示产业链的相关企业应建立长期稳定的战略合作关系,通过纵向、横向联合,开展适用性和前瞻性科研开发,开发具有自主知识产权的产品和技术,增强核心竞争力。


  普照材料总经理王佳悦强调,产业基础薄弱是制约我国掩模版发展的关键因素之一。他认为,掩模版作为多种电子信息必需的图形转移工具,其作用不言而喻,但由于远处产业链上游,市场规模相对于终端产品而言较小,在整个电子信息产业内属于较“偏”的产品,因此多年来在中国大陆一直不太受关注与重视,导致产业基础薄弱。与TFT面板一样,匀胶铬版的主要工艺设备以及上游几大关键原料如专用玻璃、抛光粉、专用清洗剂、靶材、光刻胶等目前主要依靠进口,处处受制于人;此外,由于项目资金投入大,技术难关多,企业很难在短时间内实现经济效益,加之在社会上和政府层面都显得较为“陌生”,获取政府产业扶持的能力较弱,而根据日韩同行企业的发展经验,政府对产业的持续扶持与投入是必不可少的。


  张沛也表示,希望国家通过制定相关扶持政策,以协会、科研机构牵头等形式,组织平板显示行业生产链上具有共性的一些骨干企业开展相关自主技术开发,促进民族整体技术的提升;同时,也可借鉴日本、韩国以及我国台湾地区的做法,采取重点扶持的方式,在技术整合与资金支持方面给企业多一些帮助。“我们特别希望国家已投入巨大资金的平板显示企业能够加入产业联盟,并起到骨干带头作用,解决一些具有共性的技术问题,形成自主知识产权,并建立共享机制。我们愿意与相关的上下游企业和科研机构结为联盟,研发、应用和推广相关技术,并共享我们已掌握的一些工艺、设备与软件技术。我们愿意作为试点单位参与和配合政府或机构的相关工作。”张沛的表态更让人感受到我国TFT-LCD产业链各环节的合作已是刻不容缓。



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